核心優(yōu)勢

1. 垂直工藝適配性強：支持樣品吊掛、下落式高溫淬火、單晶定向生長、CVD 氣相沉積、垂直流態(tài)化煅燒，臥式爐無法實現(xiàn)重力輔助工藝；

2. 密封與氣氛穩(wěn)定：上下 KF/CF 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭，氣路上下對流，氣體置換，真空、氣氛一致性更好；

3. 節(jié)能安全雙層爐殼：夾層強制風(fēng)冷，外殼表面溫度≤60℃，防燙、隔熱、散熱快；

4. 高精度分段控溫：多溫區(qū)獨立 PID 調(diào)節(jié)，恒溫區(qū)溫場均勻 ±2℃，控溫精度 ±1℃，支持 30~50 段程序升溫曲線；

5. 模塊化可拓展：可加裝分子泵高真空、質(zhì)量流量計、電動升降樣品臺、尾氣冷凝收集、防爆、氫氣專用氣路；

6. 易維護(hù)開啟式爐膛：對開式爐體，拆裝爐管、更換加熱元件便捷，支架帶腳輪可整體移動。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

• 新材料：納米粉體煅燒、陶瓷生坯垂直燒結(jié)、負(fù)極材料焙燒、氣凝膠熱處理；

• 半導(dǎo)體 / 電子：晶圓退火、薄膜 CVD 生長、氧化擴散、金屬真空還原；

• 冶金金屬：鎢鉬合金燒結(jié)、不銹鋼光亮退火、硬質(zhì)合金脫膠；

• 化工催化：催化劑高溫活化、流化床反應(yīng)、氣相合成實驗；

• 高校科研：高溫?zé)嶂亍⑾嘧兇慊稹尉崂⒛突鸩牧细邷匦阅軠y試；

• 特種工藝：真空釬焊、高純材料提純、還原碳化。

二、整機結(jié)構(gòu)組成

1. 立式加熱爐體

   雙層冷軋鋼板噴塑殼體，中間風(fēng)冷隔熱層；爐膛填充高純多晶氧化鋁纖維保溫棉，耐高溫、蓄熱低、升溫快；開啟式對開結(jié)構(gòu)，方便檢修更換爐管。

2. 垂直爐管密封系統(tǒng)（核心部件）

   爐管豎直安裝，上下金屬法蘭 + 氟橡膠 / 金屬無氧密封，上端抽真空、進(jìn)氣，下端出氣、卸料；

   可選爐管材質(zhì)：

• 石英玻璃管：≤1200℃，透明可視、耐酸堿、低成本；

• 99 高純剛玉管：1300~1650℃，高溫高強度、耐氧化還原；

• 310S 不銹鋼管：≤1000℃，氫氣、強還原氣氛專用；

• 氧化鋯 / 碳化硅管：1700℃耐腐蝕特種工況。

3. 加熱與測溫系統(tǒng)

• 加熱元件（按最高溫度選型）：

  鐵鉻鋁電阻絲：≤1100℃；硅碳棒：1200~1300℃通用；U 型硅鉬棒：1500~1700℃高溫款；鉬絲 / 鎢絲：1800℃超高溫定制；

• 測溫?zé)犭娕迹篕 型（≤1250℃）、S 型鉑銠（≤1600℃）、B 型雙鉑銠（≤1800℃），每溫區(qū)獨立測溫。

4. 智能溫控系統(tǒng)

   數(shù)顯 PID/10 寸觸摸屏控制器，程序段可編程，支持升溫、保溫、降溫、循環(huán)曲線；具備超溫斷電、熱電偶斷偶保護(hù)、過載、漏電多重安全聯(lián)鎖。

5. 氣路真空系統(tǒng)（標(biāo)配 + 選配）

   標(biāo)配：浮子流量計、壓力表、進(jìn)氣 / 出氣截止閥、單向防回火閥；

   選配：機械泵（低真空 - 0.098MPa）、分子泵機組（高真空 10?3Pa）、多路質(zhì)量流量計、混氣配比柜、尾氣冷凝、氫氣防爆裝置。

6. 安全防護(hù)系統(tǒng)

   超溫聲光報警、自動切斷加熱；爐體風(fēng)冷過熱保護(hù)；上下法蘭壓力過載保護(hù)；樣品防墜落鎖止、緊急急停按鈕。

三、立式管式爐技術(shù)參數(shù)（分溫度系列）

三大主流溫度系列完整參數(shù)

1）1200℃通用管式爐（實驗室主流）

• 最高使用溫度：1200℃，長期穩(wěn)定工作≤1100℃

• 加熱元件：鐵鉻鋁電阻絲 / 硅碳棒

• 測溫：K 型熱電偶

• 標(biāo)配爐管規(guī)格（外徑 × 加熱區(qū)長）：φ40×300/450mm、φ60×300/450mm、φ80×450mm、φ100×450mm

• 額定功率：3~6KW

• 真空能力：標(biāo)配機械泵可達(dá) - 0.098MPa

2）1600℃高溫管式爐（剛玉管高溫款）

• 最高使用溫度：1600℃，長期穩(wěn)定工作≤1550℃

• 加熱元件：U 型硅鉬棒

• 測溫：S 型鉑銠熱電偶

• 標(biāo)配爐管：99 高純剛玉管 φ60/φ80/φ100mm，加熱區(qū) 400~600mm

• 額定功率：4~8KW

• 真空選配：分子泵機組極限真空 1×10?3Pa

3）1700~1800℃超高溫管式爐（定制款）

• 最高溫度：1700/1800℃，長期 1600℃以內(nèi)連續(xù)使用

• 加熱元件：進(jìn)口硅鉬棒 / 鉬絲加熱體

• 測溫：B 型雙鉑銠熱電偶

• 爐管：高純剛玉 / 碳化硅管，可定制加長加熱區(qū)

• 功率：6~12KW，三相 380V 供電